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日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

產(chǎn)品型號:

所屬分類:

產(chǎn)品時間:2024-09-08

簡要描述:日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900
下一代濕法HORIBA通過控制化學藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。
為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制,我們實現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能,例如穩(wěn)定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。

詳細說明:

日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

 

總覽

下一代濕法HORIBA通過控制化學藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。

為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制,我們實現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能,例如穩(wěn)定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。

特征

實現(xiàn)*的非接觸式和高穩(wěn)定性

外部直接連接到PFA管道的*傳感器結構消除了污染的風險。此外,它消除了安裝傳感器時的管道工作需求,并消除了化學泄漏等事故的風險。此外,通過更新傳感器的光學系統(tǒng),我們實現(xiàn)了小型化,同時保持了與常規(guī)產(chǎn)品(CS-600F * 1)相同的可重復性和穩(wěn)定性。

高質(zhì)量和穩(wěn)定的測量

  • Contami風險為“零”
  • 重現(xiàn)性和穩(wěn)定性相當于傳統(tǒng)產(chǎn)品CS-600F * 1
  • 糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數(shù)變化
  • 采用HORIBA獨chuang的算法來糾正氣泡的影響

抑制振動效果

  • 采用HORIBA獨chuang的光學系統(tǒng)結構,可防止管道固定和未對準

節(jié)省空間

  • 將光源和光譜儀集成到電池單元中
  • 顯示器使用面板安裝類型(9.6厘米x 9.6厘米)

延長光源壽命

  • 采用LED燈,使用壽命更長(5年保修)

改善工作安全

  • 半年一次的BG校正周期
  • 由于安裝傳感器時無需安裝管道,因此降低了發(fā)生化學泄漏等事故的風險。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學濃度監(jiān)測儀。

由于不使用光纖的光學設計以及放大器和傳感器的小型化,增加了安裝布局的靈活性

實現(xiàn)直接和穩(wěn)定的化學物質(zhì)測量(20°C至80°C)

■穩(wěn)定性

測量條件
測量周期:每3秒測量時間:1小時
移動平均值:16次溫度:室溫管徑:3/4英寸
樣品濃度(在測量開始時)
NH 3:0.95%H 2 O 2:5.15%H 2 O :93.9%

測量結果作為
樣品(實際溶液)的1小時的測量結果,顯示出良好的穩(wěn)定性。

日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

規(guī)范

產(chǎn)品名稱

非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

模型

CS-900

測量原理

吸收光譜

濃度計算方法

溫度補償多元分析方法

測量范圍/
再現(xiàn)性系統(tǒng)
(單位:質(zhì)量%)

型號名稱

成分名稱

測量范圍

重現(xiàn)精度

模擬量輸出范圍

CS-900-1P-1P25P5

NH 3

0.00%-1.20%

±0.05%

0.00-10.00

2 O 2

0.00%-5.50%

±0.10%

0.00-10.00

高氧2

93.3%-100.0%

 ±1.0%

     ---

CS-900-1P-P8P8

NH 3

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

2 O 2

0.20%-0.80%

±0.03%

0.00-1.00

高氧2

98.4%-99.6%

±0.3%

     ---

測量條件

1)測量周期:大約3秒
2)移動平均值:16次

管道* 1

PFA管道1英寸或3/4英寸

樣品溶液條件* 2

化學溶液溫度:20-80°C化學
溶液溫度變化,環(huán)境溫度變化在±1°C內(nèi)(1小時)
輸入壓力:0.2MPa(G)以下
壓力變化:0.02MPa以下

電源供應

DC24V

消耗功率* 3

約30W

大眾

顯示:約0.9Kg
傳感器單位:約2.9Kg

外形尺寸(寬x深x高)

顯示:96 x 135 x 96 mm
傳感器單元* 4:238 x 140 x 146 mm

傳感器單元安裝角度

前后方向:±3度以內(nèi),左右方向:0-90度

光源壽命

5年

通訊

并行I / O,RS-232C,模擬輸出



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