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超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用

發(fā)布時間:2024-01-19 點擊量:462

超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用

超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器,可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。

響應速度極快,可以實時監(jiān)測水分含量的變化,還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項??梢跃_測量氣體中的水分濃度,低至 1 ppb(十億分之一)水平。

球聲表面波傳感器的測量原理

① 叉指換能器(IDT)產生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán),對所涂
敏感膜的微小變化做出反應 通過異形電極進行檢測
④ 通過積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換。

介紹示例/應用

  • 半導體制造設備制造商
    (主要是前端工藝)

  • 蓄電池制造商及其
    材料制造商的制造流程

  • 工業(yè)氣體制造商

產品陣容

響應速度極快,可以在幾秒鐘內監(jiān)控水分含量的變化,這對于穩(wěn)定半導體和二次電池制造過程中的產品產量和質量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體,當天然氣等成分出現(xiàn)波動時,可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球,使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。

FT-700WT

該系列中的頂級型號,實現(xiàn)“超"微量水分測量

  • 測量范圍廣泛的露點,從-110℃到-20℃

  • 除了露點測量之外,還以%水平檢測背景氣體*的成分(相當于平均分子量)
    *背景氣體:水分含量測量的目標氣體

  • 該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。

應用實例

工業(yè)氣體制造過程和運輸過程中的質量控制、半導體制造材料氣體的純度控制

FT-400WT

中檔型號,可實現(xiàn)中檔實時測量。

  • 1秒內測量從-90℃起的露點變化,非常適合測量實時控制系統(tǒng)

  • 也可以更改為設備內置型*
    *請聯(lián)系我們。

應用實例

一般生產線的質量控制、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測

FT-300WT

小型通用機型,在保持高速響應的同時強調便攜性。

  • 1秒內測量從-70℃起的露點變化,同時支持實時測量系統(tǒng)

  • 輕而小,僅重2公斤,方便攜帶至目標區(qū)域

  • 由于電池供電,可在沒有市電的地方使用

應用實例

干燥箱、空間水分分布、一般氣體


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