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準分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹

發(fā)布時間:2024-01-10 點擊量:2353

準分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹

“準分子",這個詞對于很多人來說可能會比較陌生。但實際上,準分子光源技術(shù)已存在多年,并已成功應用于一些工業(yè)領(lǐng)域,例如表面處理、消毒、工業(yè)加工、照明等。但在光固化應用中,準分子光源顯示出的特殊效果卻使其在近年來獲得了越來越多的關(guān)注。

“準分子紫外光固化技術(shù)",作為光固化技術(shù)的一種,近年來已成為了光固化應用領(lǐng)域的技術(shù)熱點之一。以準分子板材為例,其消光和膚感效果,正是通過運用準分子紫外光固化技術(shù)來實現(xiàn)的。

在準分子板材的固化過程中,采用了準分子紫外光固化與中壓紫外線汞燈固化兩種技術(shù)相結(jié)合的方式。其中,172nm的準分子紫外線固化技術(shù),作為其關(guān)鍵技術(shù)之一,正是實現(xiàn)準分子板材消光和膚感效果的主要技術(shù)。其原理在于172nm準分子光屬于短波紫外線,穿透能力較為有限(100-500nm),僅能對涂層表面進行固化。通過這兩種固化方式的結(jié)合使得涂層表面產(chǎn)生微觀意義上的褶皺,形成了光的漫反射,從而達到消光和膚感的效果。

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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

風冷緊湊型準分子燈單元,燈長160mm,該單元專為VUV 172波長的照射而設計,系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,具有低成本、高性能的特點,準分子UV燈可實現(xiàn)低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩?;宓臒簟F涮攸c是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。

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特點 

長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

    本來,準分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極,因此理論上它們被認為是長壽命燈,在國外有時被稱為準分子燈。然而,如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形,往往導致燈管壽命較短,從而導致成本較高。

根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗,Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件,但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身,實現(xiàn)低成本和高可靠性。*1

特征

  • 風冷方式,安裝方便。

  • 燈管燈長160mm

  • 電源 AC100V 50/60Hz

  • 瞬時開/關(guān)燈功能。

  • 適合研究和開發(fā)。

應用領(lǐng)域

  • 表面潤濕性和改性

  • 光化學

  • 反應性OH自由基過程

  • 抗蝕劑去除

  • UV O3工藝


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