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半導(dǎo)體行業(yè)用ekkeagle磁流體密封件介紹

發(fā)布時(shí)間:2023-06-16 點(diǎn)擊量:1662

半導(dǎo)體行業(yè)用ekkeagle磁流體密封件介紹

利用磁性流體沿著磁鐵的磁力線接近的特性,它是一種通過(guò)將流體保持在旋轉(zhuǎn)軸的密封部分來(lái)主要阻擋大氣和真空的密封。 它用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和平板顯示器制造設(shè)備的真空密封,以及用于輸送的機(jī)器人軸承的防塵密封。

磁流體密封中最重要的磁性流體由三個(gè)主要成分組成:(1)磁性顆粒,(2)表面活性劑和(3)基礎(chǔ)流體。 所有這些都是在NOK集團(tuán)內(nèi)部開發(fā)和制造的,我們通過(guò)我們的分散技術(shù),表面活性劑調(diào)節(jié)技術(shù)和超低蒸氣壓油制造技術(shù),使用其他公司沒(méi)有的優(yōu)質(zhì)流體提供磁性流體密封件。

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特點(diǎn)

1.磁流體密封原理

(1)它是通過(guò)干預(yù)流體阻塞大氣和真空(或大氣)的密封。

(2)由于密封部分沒(méi)有滑動(dòng)點(diǎn),因此不會(huì)因磨損而產(chǎn)生異物,并且密封件扭矩低。

2. 磁性流體密封件的特點(diǎn)

(1) 磁性細(xì)顆粒、(<>) 表面活性劑和 (<>) 基礎(chǔ)液都是 NOK 集團(tuán)內(nèi)磁性流體的組成部分。

開發(fā)和制造。

(2)由于它是由磁性流體的成分制成的,因此實(shí)現(xiàn)了其他公司無(wú)法達(dá)到的高溫特性和低蒸氣壓特性。

a.我們可以處理高達(dá)220°C的環(huán)境溫度。 〔E-01Pa〕

b. 它可以處理高達(dá)E-09Pa或更低(室溫)而無(wú)需操作排氣。

(3)多軸如同軸2軸和3軸,每個(gè)軸可以獨(dú)立旋轉(zhuǎn)。



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