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緊湊、高性能、理想的研發(fā)臺(tái)式光刻設(shè)備介紹

發(fā)布時(shí)間:2023-04-06 點(diǎn)擊量:682

緊湊、高性能、理想的研發(fā)臺(tái)式光刻設(shè)備介紹

該產(chǎn)品是一種節(jié)省空間且易于操作的掩模對(duì)準(zhǔn)器,具有高性能和低成本,使其成為大學(xué)和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。 該產(chǎn)品是同類產(chǎn)品中采用兩用顯微鏡和集成透鏡(照明系統(tǒng))的產(chǎn)品,可實(shí)現(xiàn)高精度的對(duì)準(zhǔn)和燃燒。

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面罩尺寸高達(dá) □5"
晶圓尺寸最大φ4英寸
曝光照明250W超高壓汞燈
光學(xué)方法 積分器透鏡方法
不均勻照度±5%以下
照度 20mW/cm2 (405nm)
有效曝光范圍 φ100mm
曝光:帶數(shù)字計(jì)時(shí)器的旋轉(zhuǎn)電磁閥驅(qū)動(dòng)器
曝光模式軟接觸,硬接觸
分辨率2μm(硬觸點(diǎn))
對(duì)齊范圍雙顯微鏡
10 x 2x 物鏡 (N.A. 0.15 寬深 30mm)
物鏡間距 15~75mm
目鏡NWF10×(18 視野)
整體放大倍率:100x
晶圓臺(tái)XY載物臺(tái)行程±5mm
θ 旋轉(zhuǎn)行程 ±5°
Z軸行程 0~4mm
對(duì)齊方式通過晶圓平臺(tái)移動(dòng)手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
對(duì)準(zhǔn)精度±3微米
安裝尺寸735(寬)×490(深)×605(高)毫米
安裝重量約90公斤
效用電源 AC100V 15A 50/60Hz
真空(壓力)21.3kPa(大氣壓以上-80kPa)
N2 氣體或干燥空氣(壓力) 0.2 MPa 或更高


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