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200℃兼容半導體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點

發(fā)布時間:2022-11-18 點擊量:677

200℃兼容半導體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點

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兼容ZT17_200℃半導體行業(yè)高溫壓力傳感器

支持高達 200°C 的測量!
用于半導體制造過程中高溫應用的壓力傳感器

特征

●高達200°C的高溫測量 

●在高溫測量中實現(xiàn)高精度 

不使用密封液體的安全可靠結(jié)構(gòu) 

●與專用放大器 組合使用

搭載200℃高溫測量新開發(fā)的壓力傳感器元件,對應200℃測量

實現(xiàn)高精度的高溫測量溫度特性ZERO:±1.0%F.S.SPAN:±3.0%F.S.(溫度補償范圍15~200℃)

將測量氣體的滯留抑制到最小限度,適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)

使用溫度范圍

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運用程序

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支持超臨界清洗、氣化裝置等半導體制造工藝的高溫用途

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通過適用于半導體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)

將測定氣體的滯留控制在最小限度。

日本naganokeiki長野計器半導體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17


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