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氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

發(fā)布時間:2021-06-25 點擊量:1188

氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣計 MS-500

MS-500

  • 最多可同時測量 8 個點
  • 可以顯示從 ppm 級到 100% 的各種濃度。
  • 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
  • 傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
  • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進一步提高耐用性。?

MS-500 設(shè)備規(guī)格

測量原理

氧化鋯濃縮電池供電

形狀

分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)

顯示方式

數(shù)字4位顯示(濃度顯示)

測量范圍

0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
自動量程

重復(fù)性

在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
± 1% FS 或更少或 ±
0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍

測量點數(shù)

1-8

樣氣條件

壓力

10 -3~ 200 KPa(絕壓)

流量

0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴散狀態(tài)的測量)

濕度

露點低于環(huán)境溫度

溫度

0-100℃

其他

不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。

比較氣體

氣氛

錄音機輸出

僅傳輸輸出

傳輸輸出

RS-232C

報警輸出

沒有任何

熱身時間

6分鐘內(nèi)

尺寸

MS-500(控制器)

92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)

MS-510(轉(zhuǎn)換器)

100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)

傳感器單元

SD16NW

全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)

SD25NW

全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)

SD40NW

全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)

大量的

MS-500(控制器)

約0.6Kg

MS-510(換能器)

約0.5kg

傳感器單元

SD16NW

約0.2Kg

SD25NW

約0.2Kg

SD40NW

約0.35Kg

外部連接

真空法蘭之一(NW16、25、40)

使用的電源

24VDC ± 10%

 

 

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